等离子清洗机技术特点：

1. 舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。
2. 仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验
3. 仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验
4. 无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5. 电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6. 密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7. 40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。
8. 灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。
9. 采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。

科研用等离子蚀刻机主要用于以下实验：
1、材料清洁和活化
2、等离子涂镀聚合
3、有机物去除
4、键合
5、等离子去胶
6、金属还原
7、表面刻蚀
8、材料老化实验
9、改变亲水性/疏水性 
10、灰化表面有机层 

腔体材质：    石英
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-200W可调
射频频率： 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 1pa-30Pa
气体路数： 双路气体输入
气体流量： 10—160ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 直径150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸： PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量： 45Kg
真空泵： 抽速4L/S 
真空室温度： 小于30°C
冷却方式： 强制风冷

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