一、什么是等离子？等离子体是怎么形成的？

    等离子并非很神秘，等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态。物质由分子构成，分子由原子构成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成。当被加热到足够高的温度或其他原因，外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，就像下课后的学生跑到操场上随意玩耍一样。电子离开原子核，这个过程就叫做“电离”。这时，物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，因此人们戏称它为离子浆，这些离子浆中正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。

二、等离子去胶机（清洗机）清洗活化晶圆芯片的工作原理：

    在使用等离子去胶机（等离子清洗机）中，我们都知道，去胶气体为氧气。把需要清洗的晶片放入真空等离子去胶机反应系统中，受高频及微波能量效果，电离发生氧离子、游离态氧原子、氧分子和电子等混合的等离子体形成辉光柱。具有强氧化才能的游离态氧原子在高频电压效果下与光刻胶膜反应，最终完成。

真空等离子去胶机的使用优势在于它使用操作相对简单，去胶率更高，表面也比较干净光洁无划痕，成本低，环保。