主要技术参数

有效清洗长度

0-700mm

工作风压

12-18KPa

除尘头到工件的距离

5mm 以内，1.5mm 最佳

除尘头到机箱的管长度

5 米以内

清洁效率

3um 尘粒 97%的清除率，6um 尘粒 98%清除率

吐出风温度

小于 45℃

噪音

小于 80 分贝

工作电压

3 相 380V 50/60Hz（可选配三相 220V）

设备功能

温度监控反馈，风压监控反馈，频率监控,可实现 MES 连接

测试条件与

验收方法

测试条件：在 100 级洁净室内完成，工作高度 1.5mm，工作气压14KPa，清洗速度 80mm/s，3um 间隔粉。

验收方法：在洁净的清洗玻璃上喷撒间隔粉，目视区域 120-150 粒，200 倍显微镜检测，清除率达 97%以上。

使用环境

必须万级以下的干燥无尘车间