硅晶片plasma电浆清洗去除表面光刻胶。具有高度的均匀性，稳定的刻蚀速率。改变了硅晶片原始钝化层的形貌和润湿性，大大提高了附着力效果。

金铂利莱plasma电浆清洗机越来越多地应用于在半导体集成电路制作所用的硅晶片中，能够高容量自动化处理多个硅晶片。

硅晶片plasma电浆清洗除去硅晶片上的氧化物或金属等污染物，在半导体集成电路制作中提高了集成电路的产量、可靠性和性能。

金铂利莱有限公司是自主研发生产电浆清洗机。不仅针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，我们生产的plasma电浆清洗机具有多种规格、多种配置功能、性能及稳定性强且操作方便的特点。

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