科研用小型等离子蚀刻机10L

等离子清洗机人气：1529 发表时间：2021-04-21 【小中大】

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在。等离子蚀刻机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用，涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

科研用等离子蚀刻机主要用于以下实验：

1、材料清洁和活化
2、等离子涂镀聚合
3、有机物去除
4、键合
5、等离子去胶
6、金属还原
7、表面刻蚀
8、材料老化实验
9、改变亲水性/疏水性
10、灰化表面有机层

等离子刻蚀机技术规格参数：
-腔体材料：不锈钢/石英舱体
-工作气路：两路，可以选配MFC控制
-射频频率：40KHz
-射频功率：0-200W/300W可选，可调
-控制系统：按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值
-时间范围：0—99分59秒连续可调
-工作压力：样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
-工作气体：空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
-进气压力：空气：常压
-连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa
-工作模式：手动模式和程序化自动模式
-真空泵：抽速：1升到5升每秒
-输入电源：~220V／50Hz

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